3月28日，歷時3天的2025年上海國際半導體展覽會（SEMICON China）在上海新國際博覽中心落下帷幕。本次展會聚焦行業(yè)前沿需求，眾多半導體制造及半導體設備制造相關(guān)企業(yè)與行業(yè)領袖攜手帶來一系列創(chuàng)新材料和解決方案，助力半導體產(chǎn)業(yè)邁向高質(zhì)量、可持續(xù)發(fā)展的未來。在此次展會中，大金清研（DTAT）不僅帶來了DUPRA全氟醚橡膠密封圈O-ring系列，并首次公開了高性能動態(tài)密封圈新品，吸引眾多參展商與來訪者的目光。

SEMICON China 2025-大金清研(DTAT)展臺

SEMICON China 2025-大金清研(DTAT)展臺

依托大金集團在氟化學領域的深厚技術(shù)積累和行業(yè)洞察，大金清研（DTAT）致力于為半導體行業(yè)客戶提供涵蓋從研發(fā)生產(chǎn)到銷售售后的全鏈路氟材料解決方案。深入洞察行業(yè)需求，大金清研（DTAT）近年來持續(xù)升級DUPRA全氟醚橡膠密封圈系列及配套產(chǎn)品，其自有研發(fā)的DUPRA全氟醚橡膠密封圈DU551與DU553，均是本次上海國際半導體展覽會（SEMICON China）重點展出的產(chǎn)品。

DUPRA全氟醚橡膠密封圈系列-大金清研(DTAT)展臺

首先，DU551、DU553全氟醚橡膠密封圈具備優(yōu)異的耐高溫性能，能夠在300℃環(huán)境下持續(xù)作業(yè)，并在間歇性運行時承受高達330℃的溫度，充分滿足半導體制造過程中對密封材料性能的極端要求。與此同時，依托大金清研（DTAT）創(chuàng)新的X表面處理工藝，兩款產(chǎn)品均具備自潤滑不粘特性，抗粘附性能較傳統(tǒng)工藝提升33%以上，高效滿足半導體制程中擴散工藝（Diffusion）的防粘需求。

在此基礎上，DUPRA全氟醚橡膠密封圈DU553在動態(tài)應用與高負載工況兩方面展現(xiàn)出更突出的性能優(yōu)勢。其一是更低的粘合強度，顯著提升了其在動態(tài)應用中的靈活性和抗脫出性。即使在器械結(jié)構(gòu)頻繁開關(guān)的情況下，依然能夠保持穩(wěn)定的密封性能，是氣缸、氣密閥門、隔膜閥等關(guān)鍵部件的理想選擇；再就是更高的硬度和耐摩擦性，能夠承受更高的壓力和溫度波動，提升密封性能的同時延長設備使用壽命，減少部件頻繁更換的需求，有效降低維護成本。

此次大金清研（DTAT）還帶來了專為半導體制程中的高腐蝕、高PLASMA(等離子體)環(huán)境設計的DUPRA全氟醚橡膠密封圈DU341。該產(chǎn)品采用高純度有機復合填料體系，其特有的聚合物交聯(lián)結(jié)構(gòu)使其可在等離子體及腐蝕性氣體中穩(wěn)定運行，特別適用于半導體制造中化學氣相沉積（CVD）設備襯墊、刻蝕工藝（Etch）等工藝嚴苛的應用場景。

DUPRA全氟醚橡膠密封圈產(chǎn)品目錄（數(shù)據(jù)來源：DAIKIN FINETECH,LTD）

與此同時，大金清研（DTAT）還在本次上海國際半導體展覽會（SEMICON China）上首次展示了其為客戶提供的一站式解決方案，與DUPRA全氟醚橡膠密封O型圈配套銷售的中心環(huán)（Center Ring）產(chǎn)品。作為密封O型圈的重要配件，中心環(huán)在確保密封接口定位精準度方面發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。由于在客戶端零件組裝過程中，外部接合因素可能導致裝配精度偏差或部件不匹配，為解決這一問題，大金清研（DTAT）推出了金屬環(huán)與全氟醚橡膠O型圈的組合銷售方案，協(xié)助客戶優(yōu)化采購與組裝流程，確保中心環(huán)與O型圈的精準適配，從而實現(xiàn)理想的密封效果。

DUPRA全氟醚橡膠密封圈及其配套產(chǎn)品中心環(huán)-大金清研(DTAT)展臺

2022年，日本大金集團旗下的大金氟化工與深圳力合創(chuàng)投聯(lián)合創(chuàng)立了大金清研先進科技（惠州）有限公司，致力于將大金集團在半導體領域積累的技術(shù)優(yōu)勢引入中國市場。2023年12月，大金清研（DTAT）在廣東惠州正式啟用了其“智慧工廠”，將“潔凈理念”貫穿于全氟醚橡膠密封圈的生產(chǎn)全過程，從原料生產(chǎn)、混煉、成型、檢查到包裝，每一環(huán)節(jié)均在Class100~10000級別的無塵室中完成，確保了生產(chǎn)過程的高潔凈度與產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性。此外，通過引入人工智能與數(shù)字化管理技術(shù)，大金清研智慧工廠不斷優(yōu)化無塵室作業(yè)流程和供應鏈管理，顯著提升了質(zhì)量檢查標準與交貨效率。以此為基礎，大金清研（DTAT）致力于提供穩(wěn)定優(yōu)質(zhì)的O-ring產(chǎn)品供應，縮短客戶采購周期，確保在快速發(fā)展的半導體行業(yè)中始終保持高效、及時的響應。

大金清研先進科技（惠州）有限公司“智慧工廠”

大金清研惠州“智慧工廠”內(nèi)部

如今，大金清研（DTAT）的產(chǎn)品已經(jīng)在全球半導體產(chǎn)業(yè)鏈中得到了廣泛應用，展示了其強大的創(chuàng)新研發(fā)與應用實力。大金清研（DTAT）向來秉持“客戶為重、品質(zhì)為先”的品牌理念，并將“快速響應，持續(xù)穩(wěn)定，服務周到”的宗旨貫穿于服務周期。期待在未來，大金清研（DTAT）繼續(xù)以技術(shù)創(chuàng)新為驅(qū)動，優(yōu)化產(chǎn)品和服務，滿足不斷變化的市場需求，推動半導體市場的發(fā)展。